| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS60185352(A) |
申请公布日期 |
1985.09.20 |
| 申请号 |
JP19850006709 |
申请日期 |
1985.01.19 |
| 申请人 |
DEYUBIRIE PLC |
发明人 |
JIYON RICHIYAADO EIDORIAN KUREEBAA;HARUUN AAMETSUDO |
| 分类号 |
H01J37/04;H01J37/12;H01J37/28;H01J37/30;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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