发明名称
摘要
申请公布号 JPS6041848(B2) 申请公布日期 1985.09.19
申请号 JP19770134069 申请日期 1977.11.10
申请人 KOKUSAI DENKI KK 发明人 MIZUSHINA YOICHI
分类号 H01L21/22;H01L21/223 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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