发明名称 A THIN FILM FIELD-EFFECT TRANSISTOR AND A PROCESS FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP0090661(A3) 申请公布日期 1985.09.18
申请号 EP19830301819 申请日期 1983.03.30
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 KODAMA, TOSHIROU;KAWAI, SATORU;NASU, YASUHIRO;TAKAGI, NOBUYOSHI;YANAGISAWA, SHINTARO
分类号 H01L21/027;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/312 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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