发明名称 INHIBITING CORROSION OF ALUMINIUM METALLIZATION
摘要
申请公布号 EP0078224(B1) 申请公布日期 1985.09.11
申请号 EP19820401974 申请日期 1982.10.26
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION 发明人 RADIGAN, KENNETH J.
分类号 C23F4/00;C23C8/02;C23C8/36;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F11/02;C23C14/00;C23F1/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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