发明名称 |
INHIBITING CORROSION OF ALUMINIUM METALLIZATION |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0078224(B1) |
申请公布日期 |
1985.09.11 |
申请号 |
EP19820401974 |
申请日期 |
1982.10.26 |
申请人 |
FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORPORATION |
发明人 |
RADIGAN, KENNETH J. |
分类号 |
C23F4/00;C23C8/02;C23C8/36;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23F11/02;C23C14/00;C23F1/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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