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发明名称 SCHEIBENHALTERUNG FUER BESCHICHTUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DD227287(A1) 申请公布日期 1985.09.11
申请号 DD19840265910 申请日期 1984.08.02
申请人 VEB ZFT MIKROELEKTRONIK,,,,DD 发明人 BODE,FRANK,DD
分类号 C23C14/50;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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