高效抽氢致冷机低温泵

摘要

本发明属于真空技术领域。各种制冷机低温泵都普遍存在着对氢等非凝性气体的抽气效率较低的弱点。本发明提供了一种具有较高抽氢效率的新型结构的致冷机低温泵。该泵采用了房顶式人字形挡板，板状立式百叶窗挡板和板状立式人字形抽气部件，使泵对氢等非凝性气体的抽气效率大大优于同类泵。这种泵可用于任何需要清洁超高真空环境的场合。

主权项

1、一种真空泵，由一级冷阵，二级冷阵和泵壳组成，其特征在于一级冷阵由房顶式人字形挡板[3]和板状立式百叶窗挡板[4]，以及圆筒形泵内两块倾斜设置的平面底板[2]所构成，二级冷阵采用板状立式人字形抽气部件[5]。