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发明名称
摘要
申请公布号 JPS60135674(U) 申请公布日期 1985.09.09
申请号 JP19840023489U 申请日期 1984.02.21
申请人 发明人
分类号 G01R31/02;H01J37/20;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
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