发明名称
摘要
申请公布号 JPS60133636(U) 申请公布日期 1985.09.06
申请号 JP19840019245U 申请日期 1984.02.13
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址