发明名称 |
VAPORIZER CRUCIBLE FOR VACUUM VAPOUR-DEPOSITION APPARATUS INSTALLATIONS |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2126255(B) |
申请公布日期 |
1985.09.04 |
申请号 |
GB19830019337 |
申请日期 |
1983.07.18 |
申请人 |
* LEYBOLD-HERAEUS GMBH |
发明人 |
ALBERT * FEUERSTEIN;KLAUS-JURGEN * HEIMBACH;HELMUT * WARSCHEIT |
分类号 |
C23C14/24;B01D1/00;C23C14/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/12 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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