发明名称 VAPORIZER CRUCIBLE FOR VACUUM VAPOUR-DEPOSITION APPARATUS INSTALLATIONS
摘要
申请公布号 GB2126255(B) 申请公布日期 1985.09.04
申请号 GB19830019337 申请日期 1983.07.18
申请人 * LEYBOLD-HERAEUS GMBH 发明人 ALBERT * FEUERSTEIN;KLAUS-JURGEN * HEIMBACH;HELMUT * WARSCHEIT
分类号 C23C14/24;B01D1/00;C23C14/30;H01J37/305;(IPC1-7):C23C13/12 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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