| 发明名称 |
ION-PROCESSING METHOD AND APPARATUS AND A PRODUCT MADE THEREBY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0063493(B1) |
申请公布日期 |
1985.09.04 |
| 申请号 |
EP19820302006 |
申请日期 |
1982.04.20 |
| 申请人 |
INOUE-JAPAX RESEARCH INCORPORATED |
发明人 |
INOUE, KIYOSHI |
| 分类号 |
C23F4/00;C23C14/32;C23C14/48;H01J37/305;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30 |
主分类号 |
C23F4/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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