发明名称
摘要
申请公布号 JPS6038865(B2) 申请公布日期 1985.09.03
申请号 JP19770070133 申请日期 1977.06.13
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOSHIMIZU HIROSHI;AKAZAWA TATSUJI
分类号 B08B3/04;B05C3/00;H01L21/302;H01L21/304 主分类号 B08B3/04
代理机构 代理人
主权项
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