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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6038864(B2)
申请公布日期
1985.09.03
申请号
JP19740025730
申请日期
1974.03.07
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
UENO MITSUHIKO;KAWANO TAKAHIDE
分类号
H01L21/822;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/3205;H01L21/336;H01L23/52;H01L27/04;H01L29/78
主分类号
H01L21/822
代理机构
代理人
主权项
地址
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