| 发明名称 |
DISPOSITIF DE PRODUCTION D'IONS D'UNE ESPECE DETERMINEE, UTILISANT POUR LES SEPARER D'AUTRES IONS, UNE SELECTION EN ENERGIE, APPLICATION A L'IMPLANTATION IONIQUE |
| 摘要 |
<P>LE DISPOSITIF COMPREND DES MOYENS 3 POUR CREER UN FAISCEAU D'IONS ISOENERGETIQUES COMPRENANT DES IONS QUI CONTIENNENT UNE ESPECE DETERMINEE ET SONT APTES A SE DECOMPOSER EN DONNANT DES IONS CONSTITUES DE L'ESPECE IONISEE, DES MOYENS 4 POUR INTERAGIR PREFERENTIELLEMENT AVEC LES IONS CONTENANT L'ESPECE ET DECOMPOSER CEUX-CI EN FAISANT APPARAITRE LES IONS CONSTITUES DE L'ESPECE IONISEE, ET DES MOYENS 5 POUR EFFECTUER UNE SEPARATION ENERGETIQUE ENTRE LES IONS CONSTITUES DE L'ESPECE IONISEE ET LE RESTE DU FAISCEAU.</P>
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| 申请公布号 |
FR2560426(A1) |
申请公布日期 |
1985.08.30 |
| 申请号 |
FR19840003028 |
申请日期 |
1984.02.28 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MICHEL BRUEL, BEATRICE BIASSE ET ANNE-MARIE CARTIER;BIASSE BEATRICE;CARTIER ANNE-MARIE |
| 分类号 |
H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):G21K5/00 |
主分类号 |
H01J37/05 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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