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发明名称
GAS SUPPLY DEVICE OF REACTIVE ION ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS60167330(A)
申请公布日期
1985.08.30
申请号
JP19840239285
申请日期
1984.11.13
申请人
JII SHII EI CORP
发明人
FURANKU JIEI WARUTON
分类号
C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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