| 发明名称 |
ANISOTROPIC WET ETCHING OF CHALCOGENIDE GLASS RESISTS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
GB2118104(B) |
申请公布日期 |
1985.08.29 |
| 申请号 |
GB19830009432 |
申请日期 |
1983.04.07 |
| 申请人 |
* WESTERN ELECTRIC COMPANY INCORPORATED |
发明人 |
CHENG-HSUAN * CHEN;EDITH CHUA * ONG;JAMES CHARLES * PHILLIPS;KING LIEN * TAI |
| 分类号 |
H01L21/306;G03F7/004;G03F7/20;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/311;(IPC1-7):C09K13/00;G03C1/72 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
