| 发明名称 |
METHOD FOR MINIMIZING AUTODOPING DURING EPITAXIAL DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0145883(A3) |
申请公布日期 |
1985.08.28 |
| 申请号 |
EP19840112380 |
申请日期 |
1984.10.16 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
MOKSVOLD, TOR WESSBERG |
| 分类号 |
H01L21/22;H01L21/331;H01L21/74;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74 |
主分类号 |
H01L21/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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