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发明名称 ELECTRON BEAM SENSITIVE MIXTURE RESIST
摘要
申请公布号 EP0124274(A3) 申请公布日期 1985.08.28
申请号 EP19840302186 申请日期 1984.03.30
申请人 GAF CORPORATION 发明人 LEWIS, DAVID F.
分类号 G03F7/004;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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