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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6037654(B2)
申请公布日期
1985.08.27
申请号
JP19760101845
申请日期
1976.08.25
申请人
NIPPON DENKI KK;YOKOKAWA HOKUSHIN DENKI KK
发明人
HARUYAMA KYUICHI;KURATA SATOSHI;YAMAMOTO SADAO
分类号
H03M1/50;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H03M1/50
代理机构
代理人
主权项
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