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发明名称
Photoresist compositions and method
摘要
Water soluble blends are provided of alkanolacrylamide, water soluble hydroxyl containing film forming organic oligomer and an effective amount of an onium salt photoinitiator. These photocurable compositions can be used as photoresists.
申请公布号
US4537854(A)
申请公布日期
1985.08.27
申请号
US19830531977
申请日期
1983.09.14
申请人
GENERAL ELECTRIC COMPANY
发明人
CRIVELLO, JAMES V.
分类号
G03F7/004;C08F2/48;G03F7/027;G03F7/029;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/70
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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