发明名称 MANDRIN DE SERRAGE POUR PLAQUETTE SEMI-CONDUCTRICE
摘要 LA PLAQUETTE 11 EST SERREE PAR SON BORD CONTRE LA FACE BOMBEE 15 D'UNE PLAQUE D'APPUI 13 CIRCULAIRE, LAQUELLE EST PERCEE DE CANAUX 23, 27-31 ET COMPORTE UNE GORGE ANNULAIRE 25, QUI PERMETTENT DE FAIRE PASSER UN GAZ SOUS UNE PRESSION DETERMINEE DANS L'INTERSTICE SUBSISTANT ENTRE CETTE PLAQUETTE 11 ET CETTE FACE BOMBEE 15. UNE GORGE ANNULAIRE 37 DE LA PERIPHERIE DE LADITE FACE BOMBEE COMMUNIQUE AVEC UNE POMPE A VIDE, QUI ASPIRE LE GAZ EN MINIMISANT LES FUITES DE CE GAZ VERS L'ENCEINTE.APPLICATION NOTAMMENT AU TRAITEMENT SOUS VIDE APPLIQUANT ET DEGAGEANT BEAUCOUP D'ENERGIE, DE PLAQUETTES SEMI-CONDUCTRICES A CIRCUITS INTEGRES.
申请公布号 FR2559953(A1) 申请公布日期 1985.08.23
申请号 FR19850002253 申请日期 1985.02.15
申请人 GCA CORP 发明人 MORGAN JAY MORLEY
分类号 B23Q3/08;H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
地址