| 发明名称 |
VACUUM DEPOSITION OF PNICTIDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2993784(A) |
申请公布日期 |
1985.08.22 |
| 申请号 |
AU19840029937 |
申请日期 |
1984.06.27 |
| 申请人 |
STAUFFER CHEMICAL CO. |
发明人 |
ROZALIE SCHACHTER;MARCELLO VISCOGLIOSI |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/34;H01L21/203;H01L21/314 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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