| 发明名称 |
ANORDNUNG ZUR OPTISCHEN ERFASSUNG RAEUMLICHER UNEBENHEITEN IN DER STRUKTUR EINES ZU UNTERSUCHENDEN OBJEKTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE3406066(A1) |
申请公布日期 |
1985.08.22 |
| 申请号 |
DE19843406066 |
申请日期 |
1984.02.20 |
| 申请人 |
SIEMENS AG |
发明人 |
MARGUERRE,HANS-HELMUT,DIPL.-PHYS. |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/88;(IPC1-7):G01B11/30 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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