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发明名称 VERFAHREN ZUR KONTROLLE UND REGELUNG DER LEGIERUNGSZUSAMMENSETZUNG VON ELEKTRISCH LEITENDEN METALLISCHEN SCHICHTEN WAEHREND IHRER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE3405596(A1) 申请公布日期 1985.08.22
申请号 DE19843405596 申请日期 1984.02.16
申请人 SIEMENS AG 发明人 HIEBER,KONRAD,DR.RER.NAT.;MAYER,NORBERT,DR.RER.NAT.
分类号 C23C14/54;G01R27/00;G05D5/03;H01C17/08;H01C17/12;(IPC1-7):C23C14/00;C23C14/34;H01L21/66;H01L21/88;H01L49/02 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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