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发明名称 FOERFARANDE OCH ANORDNING FOER YTDIAGNOSTIK.
摘要
申请公布号 FI853242(A0) 申请公布日期 1985.08.22
申请号 FI19850003242 申请日期 1985.08.22
申请人 SRI INTERNATIONAL 发明人 BECKER, CHRISTOPHER H.;GILLEN, KEITH T.;BUTTRILL, SIDNEY E., JR.
分类号 G01N23/225;H01J37/252;H01J49/40;H01L21/00;(IPC1-7):H01J/ 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
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