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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR LITHOGRAPHIC ROTATE AND REPEAT PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0150129(A3) 申请公布日期 1985.08.21
申请号 EP19850300440 申请日期 1985.01.23
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 SIDDALL, GRAHAM J.;EATON, STEVEN GLEN;KRUGER, JAMES B.;GARRETTSON, GARRETT A.;NEUKERMANS, ARMAND P.
分类号 H01L21/30;G03F1/16;G03F7/20;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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