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发明名称
SURFACE DIAGNOSTICS
摘要
申请公布号
GB8518083(D0)
申请公布日期
1985.08.21
申请号
GB19850018083
申请日期
1984.09.20
申请人
SRI INTERNATIONAL
发明人
分类号
G01N23/225;H01J37/252;H01J49/40;H01L21/00
主分类号
G01N23/225
代理机构
代理人
主权项
地址
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