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发明名称 FLEXURE STAGE ALIGNMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 EP0147169(A3) 申请公布日期 1985.08.21
申请号 EP19840308899 申请日期 1984.12.19
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC. 发明人 SIDDALL, GRAHAM J.
分类号 H01L21/30;B23Q1/36;G03F7/20;G03F9/00;G03F9/02;H01L21/027;(IPC1-7):G03B41/00 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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