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发明名称 스팟타링 방법 및 장치
摘要 내용 없음
申请公布号 KR850005147(A) 申请公布日期 1985.08.21
申请号 KR19840008169 申请日期 1984.12.20
申请人 null, null 发明人 사이도우 히로시 (외 7)
分类号 C23C14/36;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/46;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/31 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
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