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发明名称
摘要
申请公布号 JPS6036101(B2) 申请公布日期 1985.08.19
申请号 JP19770124519 申请日期 1977.10.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 ITO KAORU;MIMATA TSUTOMU
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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