发明名称
摘要
申请公布号 JPS6027432(Y2) 申请公布日期 1985.08.19
申请号 JP19780179180U 申请日期 1978.12.28
申请人 发明人
分类号 G10H1/053;G10H1/12;G10H3/12;G10H3/14;G10H3/18;H01L41/08;(IPC1-7):G10H3/18 主分类号 G10H1/053
代理机构 代理人
主权项
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