发明名称 ZPUSOB PASIVACE POVRCHU ZAHLOUBENI VERTIKALNE CLENENE STRUKTURY POLOVODICOVE SOUCASTKY
摘要
申请公布号 CS8501918(A1) 申请公布日期 1985.08.15
申请号 CS19850001918 申请日期 1985.03.19
申请人 MALY LADISLAV;POJMAN PAVEL ING.;HOMOLA JAROSLAV RNDR.;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR. 发明人 MALY LADISLAV;POJMAN PAVEL ING.;HOMOLA JAROSLAV RNDR.;ZAMASTIL JAROSLAV RNDR.
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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