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发明名称 PREPUMP SYSTEM FOR AN ULTRAVACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 CS237541(B1) 申请公布日期 1985.08.15
申请号 CS19840000087 申请日期 1984.01.04
申请人 FISER,JAN,CS 发明人 FISER,JAN,CS
分类号 H01J37/18;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 H01J37/18
代理机构 代理人
主权项
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