发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0061855(B1) 申请公布日期 1985.08.14
申请号 EP19820301254 申请日期 1982.03.11
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 SASAKI, YOSHITAKA
分类号 H01L21/32;H01L21/321;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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