POWER SOURCE FOR ION SOURCE,申请号JP19840009528-传众专利搜索

发明名称	POWER SOURCE FOR ION SOURCE
摘要
申请公布号	JPS60154500(A)	申请公布日期	1985.08.14
申请号	JP19840009528	申请日期	1984.01.24
申请人	NIPPON GENSHIRYOKU KENKYUSHO	发明人	MATSUOKA MAMORU;OKUMURA YOSHIKAZU
分类号	H01J27/08;H05H1/22	主分类号	H01J27/08
代理机构		代理人
主权项
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