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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6035429(B2)	申请公布日期	1985.08.14
申请号	JP19760125438	申请日期	1976.10.19
申请人	COULTER SYSTEMS CORP	发明人	MANFURETSUDO RUDORUFU KUENRU
分类号	C23C14/40;C23C14/56;H01J37/34	主分类号	C23C14/40
代理机构		代理人
主权项
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