发明名称
摘要
申请公布号 DE2747180(C2) 申请公布日期 1985.08.08
申请号 DE19772747180 申请日期 1977.10.20
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MASUHARA, TOSHIAKI, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;YASUI, TOKUMASA, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP;SKAI, YOSHIO, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP;NAKAJIMA, JOH;KOSA, YASUNOBU;MEGURO, SATOSHI, KODAIRA, TOKIO/TOKYO, JP;KUBO, MASAHARU, HACHIOJI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 H01L21/763;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/3215;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/532;(IPC1-7):H01L23/52 主分类号 H01L21/763
代理机构 代理人
主权项
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