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发明名称 VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR KORPUSKULARBESTRAHLUNG EINES TARGETS
摘要
申请公布号 DD225879(A3) 申请公布日期 1985.08.07
申请号 DD19830252661 申请日期 1983.07.01
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 HAHN,EBERHARD,DD
分类号 G03F1/00;G03F1/08;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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