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摘要
申请公布号
JPS6034263(B2)
申请公布日期
1985.08.07
申请号
JP19750036712
申请日期
1975.03.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
TSUBOSAKI KUNIHIRO;YAMADA TOMIO
分类号
H01L23/50;H01L21/56;H01L21/58;H01L23/28
主分类号
H01L23/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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