| 发明名称 |
SPUTTERING CATHODE AND SYSTEM FOR SPUTTER-COATING LARGE AREA SUBSTRATES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IE49129(B1) |
申请公布日期 |
1985.08.07 |
| 申请号 |
IE19790002464 |
申请日期 |
1979.12.18 |
| 申请人 |
ADVANCED COATING TECHNOLOGY, INC. |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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