发明名称 DEVICE FOR MONITORING PROCESS OF ETCHING
摘要
申请公布号 SU1131254(A1) 申请公布日期 1985.08.07
申请号 SU19823471326 申请日期 1982.05.14
申请人 BRATUKHIN V.V.,SU 发明人 BRATUKHIN V.V.,SU
分类号 C25D21/12;(IPC1-7):C25D21/12 主分类号 C25D21/12
代理机构 代理人
主权项
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