发明名称 APPARATUS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS60148196(A) 申请公布日期 1985.08.05
申请号 JP19840004323 申请日期 1984.01.13
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 HASEBE YUTAKA
分类号 H05K13/02 主分类号 H05K13/02
代理机构 代理人
主权项
地址