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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6032991(B2)
申请公布日期
1985.07.31
申请号
JP19760143341
申请日期
1976.12.01
申请人
HITACHI LTD
发明人
WADA YASUO;USUI HIROO
分类号
H01L29/78;H01L21/283;H01L21/316
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
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