| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR KONSTANTEN BILDGROESSENEINSTELLUNG BEI FOTOLITHOGRAFISCHEN GERAETEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD225517(A1) |
申请公布日期 |
1985.07.31 |
| 申请号 |
DD19830257353 |
申请日期 |
1983.12.01 |
| 申请人 |
VEB CARL ZEISS JENA,DD |
发明人 |
SCHNEIDER,HEINZ-JOACHIM,DD |
| 分类号 |
G03B27/32;(IPC1-7):G03B27/32 |
主分类号 |
G03B27/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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