发明名称 SEMICONDUCTOR FABRICATION UTILIZING LASER RADIATION.
摘要
申请公布号 EP0051669(A4) 申请公布日期 1985.07.30
申请号 EP19810901458 申请日期 1981.05.11
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 TIEN, PING KING
分类号 H01L21/225;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/268;H01L29/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/00;H01L21/265;B23K9/00;H01S3/19 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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