发明名称 |
SEMICONDUCTOR FABRICATION UTILIZING LASER RADIATION. |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0051669(A4) |
申请公布日期 |
1985.07.30 |
申请号 |
EP19810901458 |
申请日期 |
1981.05.11 |
申请人 |
WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED |
发明人 |
TIEN, PING KING |
分类号 |
H01L21/225;H01L21/22;H01L21/263;H01L21/268;H01L29/205;H01S5/00;(IPC1-7):H01S3/00;H01L21/265;B23K9/00;H01S3/19 |
主分类号 |
H01L21/225 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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