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发明名称 WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS60143883(A) 申请公布日期 1985.07.30
申请号 JP19830250069 申请日期 1983.12.28
申请人 FUJITSU KK 发明人 ARII KATSUYUKI;NAGASHIMA SETSUO
分类号 B08B3/10;B08B3/04;H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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