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发明名称 VERFAHREN ZUR ABTASTUNG VON RASTERTEILUNGEN
摘要
申请公布号 DD225195(A1) 申请公布日期 1985.07.24
申请号 DD19840264799 申请日期 1984.07.02
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,,,,DD 发明人 SCHUCHARDT,GERD,DD;FREITAG,HANS-JOACHIM,DD;THIEMER,ROLF,DD
分类号 G01C15/00;G01B7/00;G01D1/16;G01D5/244;G01S5/06;(IPC1-7):G01B7/00 主分类号 G01C15/00
代理机构 代理人
主权项
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