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发明名称 HOLDER FOR LIQUID-PHASE TREATMENT OF SUBSTRATE SURFACES
摘要
申请公布号 SU1168635(A1) 申请公布日期 1985.07.23
申请号 SU19843700970 申请日期 1984.02.20
申请人 CHERNOVITSKIJ G UNIV ZAVOD CHISTYKH METALLOV 发明人 MAZURKEVICH YAROSLAV S,SU;BILOGOLOVKA VASILIJ T,SU;VOLOSHCHUK ANATOLIJ G,SU;KUSTOV IVAN F,SU;PESHEKHONOVA LYUDMILA V,SU;SHCHERBINA IVAN N,SU
分类号 H01L21/306;B08B3/04;C30B33/00;C30B33/08;H01L21/00;(IPC1-7):C30B33/00 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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