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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6024458(Y2)	申请公布日期	1985.07.22
申请号	JP19760176577U	申请日期	1976.12.29
申请人		发明人
分类号	B05B17/06;B06B1/02;B06B1/06;F24F3/14;F24F6/12;F24F11/00;H01L41/00;H01L41/09	主分类号	B05B17/06
代理机构		代理人
主权项
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