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发明名称 VERFAHREN ZUR VERBESSERUNG FOTOLITHOGRAFISCHER PROZESSE
摘要
申请公布号 DD225004(A1) 申请公布日期 1985.07.17
申请号 DD19840263198 申请日期 1984.05.21
申请人 VEB HALBLEITERWERK,,,,DD 发明人 SCHNEIDER,MARTINA,DD;ROESER,DETLEV,DD;RIEPEL,GEORG,DD
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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