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发明名称 EINRICHTUNG ZUM ANTRIEB DES SUBSTRATHALTERS IN INSBESONDERE TROCKENAETZANLAGEN
摘要
申请公布号 DD224879(A1) 申请公布日期 1985.07.17
申请号 DD19840264633 申请日期 1984.06.28
申请人 VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD 发明人 WESER,FRANK,DD;SCHLENK,RAINER,DD;KURTH,KLAUS,DD
分类号 B65G49/00;(IPC1-7):B65G49/00 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
主权项
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